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直接激光干涉微纳制造系统

成果简介:

    该系统主要由大功率多波长激光器、分光系统和高精度位移台组成。采用多光束激光干涉原理,直接在材料表面制造微纳表面结构,结构周期从微米级到纳米级连续可控。结合高精度位移控制技术,该系统具有实现大面积周期性微纳结构加工制造的能力。

主要技术指标:

    激光波长:1064nm532nm355nm266nm

    峰值功率:>200MW

    结构周期:200nm-20um

    最高加工效率:3

应用范围:

    主要用于太阳能电池表面减反结构加工,制造新型光电探测器、光电传感器以及大面积光栅等功能性结构材料和器件。

 
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